1900年义和团运动失败，清政府与帝国主义签订《辛丑条约》，中国在屈辱与苦难中进入了20世纪。同时，民族资本的发展和民族资产阶级的出现，资产阶级思想文化的传播与人民的民族民主觉悟的提高，资产阶级民主革命也随之兴起。从1903年起，以民族资产阶级为领导的全国各阶层人民参加的收回利权运动在各地开展起来。1905年革命派在东京成立中国同盟会，形成了中国资产阶级民主革命的领导核心。同盟会会员回国动员军民，发动起义，为推翻清朝的封建专制统治播撒革命火种。
资产阶级民主思想和反清革命潮流，主要通过两个途径传播到了内蒙古。一个是在区内外、海内外求学的内蒙古各族青年，对新文化和新思想的接受和传播。另一个是同盟会组织在内蒙古进步青年和社会各阶层中的宣传鼓动。从1906年起，同盟会陆续派人到内蒙古地区秘密发展组织。从山西派王建屏、李德懋等人来绥远地区开展工作，发展会员。绥远地区的进步分子纷纷接受同盟会的革命纲领，并加入同盟会。经王建屏、李德懋等人的开辟，归绥、萨拉齐、包头、五原一带很快成为同盟会会员广泛活动的地区。归绥、包头一带的同盟会会员积极宣传革命，在青年学生和知识分子中开展工作，壮大革命队伍；向群众教唱革命歌曲，反对妇女缠脚、男子留辫子，扩大革命影响；在清军中秘密宣传进步思想，使他们了解革命，认清形势。
1911年10月10日，武昌起义爆发，拉开了辛亥革命的帷幕。全国各地纷纷响应，内蒙古西部地区的民众，尤其是进步势力，以极大的热情迎接并参加了这次革命。归绥地区的革命党人奔走于归绥、萨拉齐、包头之间，多方联络，加紧策划起义的准备工作。绥、包一带的清军巡防队中有一部分官兵受革命思想影响，酝酿反清起义，他们首先拟在归绥起兵，以占据清朝在内蒙古西部的统治中心。革命党人写信给驻防归绥的汉军口外八旗后路巡防队统领周维藩，动员其率部起义，弃暗投明。当周维藩犹豫不决之时，其部下张琳、曹富章带领部属，于11月9日毅然举起义旗，脱离军营开出归绥，沿大青山直奔包头。云亨（蒙古族）、王定圻、杨云阶等革命党人，及时赶往包头，与经权（蒙古族）、郭鸿霖等会合，在包头、萨拉齐等地策动起义，并与张琳、曹富章等取得联系，准备进驻包头。五原厅同知樊恩庆和包头清军管带佯称赞成革命，12月24日，暗设“鸿门宴”，使这支不成熟的起义军在“马号事件”中覆没，张琳、曹富章、郭鸿霖等遇害，云亨得朋友暗示，迅速脱险，幸免于难。
归绥道其它厅也陆续发生了反清暴动。1911年11月，陶林的乡村会党武装和陶林厅的百余名巡警在赵喜泰的率领下发动起义，占领了陶林城。此后，起义军与清军交战失利，撤出陶林向南转移到宁远一带。宁远厅官员闻风而逃，起义军一举占据了宁远城。不久，在察哈尔右翼各旗马队的进攻下，陶林起义军再度受挫。余部加入了丰镇军民武装行列，坚持斗争，撤离归绥的巡防队统领周维藩，在各地革命形势的影响下，率领其余部，在兴和一带宣布起义。
丰镇地区在山西革命党人的直接影响和推动下也发动了革命起义。12月初，晋北各地反清义军在弓富魁等人率领下进入大同。在弓富魁的带动下，张占魁、武万义（蒙古族）、马有才（回族）等率领的农民军，以“推翻满清，建立民国”为口号，在丰镇东北的隆盛庄附近宣布起义。12月16日，革命军攻入丰镇城，建立革命政权，宣布革命政策。12月23日，大批清军反攻丰镇，经一天的激战，丰镇被清军攻占，起义武装被迫撤出。
在山西太原发动起义的山西革命军，于12月初撤出太原，在阎锡山的指挥下，北上到达伊克昭盟，李德懋、王定圻、云亨、经权等革命党人，当即与山西革命军取得联系，并重振人马与之配合。1912年1月，山西革命军进入包头，建立了包东州临时革命政权，控制了包头、后套和伊克昭盟等地，云亨、经权分别被任命为绥远城将军和归化城副都统。1月15日，山西革命军出师东征归绥，17日，击溃由原绥远八旗兵组成的清军第一营，攻占了萨拉齐镇。26日，革命军东进归绥途中，在萨拉齐以东刀什尔村遇归绥清军巡防队和满、蒙新军、土默特骑兵的阻击，激战一整天，革命军严重受挫。此时，阎锡山着意保存实力，以图返回太原夺权，不久又因南北议和告成，阎锡山率部经托克托退回山西，绥远地区义军夺取归绥的计划遂告终止。
绥远地区辛亥起义是全国推翻清王朝的资产阶级民主革命的组成部分，起义虽遭挫折，但是显示了这里蒙汉各族人民的民主觉醒。
